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东吴证券股份有限公司周尔双,马天翼近期对中科飞测进行研究并发布了研究报告《产品线持续丰富完善，引领半导体量/检测设备进口替代》，本报告对中科飞测给出增持评级，当前股价为75.44元。

中科飞测(688361)
投资要点
引领量/检测设备进口替代，收入规模持续快速增长
公司是本土量/检测设备龙头， 成功供货中芯国际、长江存储、福建晋华等主流半导体客户，引领进口替代同时，收入规模实现快速增长。 1）收入端：2018 年营收仅为 2985 万元， 2022 年达 5.09 亿元，期间 CAGR 高达 103%，2023Q1 实现营收 1.62 亿元，同比+255%，加速增长。 2）利润端： 与收入端高速增长形成对比的是，公司利润端波动较大。 2022 年实现归母净利润 0.12 亿元，同比-78%； 2023Q1 归母净利润达 0.31 亿元，同比+259%。 2022 年公司扣非净利率为-17.25%，同比-18.22pct，真实盈利大幅下降，主要系高强度研发投入所致， 2022 年研发费用率达到 40.40%，同比+14.04pct； 2023Q1 公司扣非净利率为-0.49%， 受益于规模效应， 真实盈利有所回升。 我们注意到公司整体毛利率呈上升趋势， 2021-2023Q1 分别达到 48.96%、 48.67%和 55.26%， 优于行业平均水平，表现出色。截至 2023Q1 末，公司存货和合同负债分别达 9.19 亿元和 5.45 亿元，充足订单有望支持公司业绩持续快速增长。
前道设备弹性最大环节之一，迎国产替代最佳机遇
量/检测设备产品技术壁垒高、种类多，在半导体设备中价值量占比仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀，达到 11%。我们预计 2023 年中国大陆量/检测设备市场规模将达到 222 亿元，市场需求广阔。 ①全球范围内来看， KLA 在半导体量/检测设备领域一家独大， 2020 年市场份额高达 51%。 此外，在半导体前道设备中，量/检测设备盈利水平尤为出色， 2022 财年 KLA 净利率高达 36%，明显优于 AMAT、 LAM 等半导体设备龙头。 ②中科飞测、上海精测、睿励科学等本土厂商虽已经实现一定突破，但量/检测设备仍是前道国产化率最低的环节之一，上述三家企业 2022 年营收合计 7.46 亿元，对应市场份额不足 3%，远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。 展望未来，在美国制裁升级背景下， KLA 在中国大陆业务将受到一定冲击，本土晶圆厂加速国产设备导入，量/检测设备有望迎来国产替代最佳窗口期。
国产替代加速&产品线持续完善，公司具备持续快速扩张潜力
公司在稳固现有产品竞争优势同时，积极布局先进制程设备，并不断拓展量/检测设备品类，成长空间持续打开。 1） 公司主营四大类系列设备相关技术指标可对标海外一线龙头，当前市占率仍较低，有较大提升空间。此外， 公司积极拓展先进制程， 14-10nm 无图形晶圆缺陷检测设备研发项目正在快速推进， 28nm 以下的套刻精度测量设备已经发往客户验证，并获得 2 家客户订单。2） 公司积极布局纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备、晶圆金属薄膜量测设备等新产品线， 覆盖面进一步拓宽。 此外， 公司 IPO 募投可新增检测设备产能 150 台、量测设备产能 80 台，对应销售收入约 6.42 亿元，大幅提升公司产能水平，支撑收入规模持续扩张。
盈利预测与投资评级： 我们预计 2023-2025 年公司营业收入分别为 7.47、10.59 和 14.47 亿元， 当前市值对应动态 PS 分别为 32、 22 和 16 倍。考虑到公司成长性较为突出，首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示： 晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期等。

该股最近90天内共有11家机构给出评级，买入评级6家，增持评级4家；过去90天内机构目标均价为62.13。

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